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ナノ粗さ高さ計測器 TN−A1 【3D計測・光学非接触方式】 人気


☆ものづくり補助金による導入もお薦め致します。☆
価格: 御問合せ ☆補助金申請のお手伝いも致します。☆
●ナノ粗さ高さ計測器は、分解能0.1nmで高さ形状(表面粗さ・段差・角度・表面うねり など)を光学方式・非接触で3D計測致します。

サンプル計測無料にて実施しております。
サンプルサイズに制限が御座いますが、お気軽にご相談下さい。
☆☆ 下記専用アドレスをご利用ください。☆☆

上記 PDF key より面計測事例を含む資料ダウンロードが可能です。


【 装置の主な特徴 】
☆高さ分解能0.1nm <最小読み取り高さ>
☆振動に強く、設置場所を選びません。
☆高さ寸法目盛りが正確です。 <633nm レーザー波長基準>
☆広範囲計測にも対応しています。 <XY方向 25mm範囲>
☆非接触で微小スポット光を走査しキズをつけません。
☆計測ソフトは LabVIEW を利用しています。


【 計測対象(サンプルサイズ)と計測領域 】
●本装置の標準計測サイズは、50×50×t20mm以下になっています。
●本装置の段差計測範囲は、5〜±300nm を対象としています。
●サンプル計測や評価は、下記専用アドレスよりお問合せ願います。
専用アドレス→ nanogap@twin9.co.jp

【 計測事例のご紹介 】
■計測事例  А.ラス基板上のフッ素コート膜の粗さ測定。

  ・触針粗さ計との比較を行っています。

■継続事例◆ А’膜粗さ測定の繰り返し安定度評価。

  ・繰り返し測定でも、±2nm程度の変動に収まる安定した計測となっています。