ナノ粗さ高さ計測器 TN-A1

ナノ粗さ高さ計測器TN-A1

モデルTN-A1は、レーザー光による非接触方式でナノレベルの表面粗さ、うねり、段差高さの形状を広範囲に計測する事が可能です。

【1.モデルTN-A1:主な仕様 】

【2.計測範囲と装置位置付け 】

【3.光ヘテロダイン干渉計の原理と精度 】

【4.段差標準ゲージの計測 】

【5.各種計測事例とデータ 】

【6.計測サンプル参考写真と補足 】

1.モデルTN-A1の主な仕様

・計測は本体・コントロールBOX・計測用PCで構成されています。

・卓上設置が可能でコンパクトなサイズになっています。

・X50mm×Y25mmのワイドレンジで計測が可能です。

仕様 一覧
高さ方向分解能0.1nm(ナノメートル)
基準高さ測定範囲0.5nm~300nm
計測方式非接触方式
最大移動量 【※1】X:50mm / Y:25mm
光源He-Ne レーザー
対物レンズ倍率 5X / NA 0.13
電源AC100V
本体重量約 27kg
付属品専用サンプル固定治具×3
オプション 【※1】XY軸 Max 100mm 変更

2.計測範囲と装置位置付け

・モデルTN-A1は、各種顕微鏡及び計測装置と比較して広い範囲に有効性があります。

3.光ヘテロダイン干渉計の原理と精度

◇通常の光干渉計測では、その原理にホモダイン干渉が用いられています。
◇同一周波数光の静止した干渉縞の強度を画像解析し計測されます。

◇モデルTN-A1では、光ヘテロダイン干渉をその原理とし光学構成されています。
異なる周波数光の動く干渉縞から得られる信号の位相解析し計測されます。

◇光ヘテロダイン干渉法で形成した2つのレーザ光を計測対象へ照射する事で光の位相が発生します。

◇この光の位相差を電気的に検出する事で光波長を高さの基準とし図のような測定精度を得て保証しています。

4.段差標準ゲージの計測

『 段差標準ゲージ VLSI社/USA 』
・異なる段差のあるゲージの計測に於いて、モデルTN-A1はゲージ段差を検出計測し校正しています。
・以下の資料では、数値ステップのある基準ゲージを計測した際のデータです。
・計測データは微分プロファイルで表示されています。

5.各種計測事例とデータ

◆ モデルTN-A1での計測事例とデータをご紹介しています。
◆右ボタンからお入りください。

 

6.計測サンプル参考写真と補足

【GaNサンプル 8×10mm】
・窒化ガリウム素材

【シリコンウェファーサンプル】
・サイズ φ6インチ

【高さ段差基準ゲージ】
・USA VLSI社製ゲージ

モデルTN-A1☆nanotech 2017 新人賞受賞☆

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