ナノ粗さ高さ計測器 TN-A1

7つの特長を搭載した全く新しいナノ表面粗さ計測器
「ナノセブン」の誕生です。

短時間・広範囲・簡単・高精度・非接触計測を実現! さらに耐振動性、低コストも併せて実現しました。

お知らせ

21/1/14

来月2月17-19日開催予定の「INTERMEASURE2021」ですが、コロナ禍緊急事態宣言発令中の影響で、開催中止が決定しました。お客様にナノセブンを見て頂ける絶好の機会と考えておりましたが、大変残念です。同展示会のWeb上では、製品のご紹介をいたしておりますので、ご利用下さい。今後新しい話題をどんどんご案内していきますのでよろしくお願いいたします。

21/1/14

新年あけましておめでとうございます。昨年12月に出展いたしました「新価値創造展2021」では沢山のお客様にご来場頂き誠にありがとうございました。現在「オンライン彩の国ビジネスアリーナ」にナノセブンをWeb出展しておりますのでご来場お待ちしております。コロナ禍大変なご時世ではありますが、今年も引き続き宜しくお願い申し上げます。

20/12/24

来年1月8日(金)10:00から2月8日(月)15:00まで開催される「オンライン彩の国ビジネスアリーナ」に出展することが決まりました。コロナ禍で実機の出展はできませんが、ぜひこの機会に弊社ナノ表面粗さ計測器ナノセブンをご覧下さい。

ナノ粗さ高さ計測器
ナノセブン<TN-A1>

ナノセブンは、レーザー光による非接触方式で計測対象物の表面粗さ、段差高さの形状をサブナノレベルの精度で、短時間かつ広範囲に計測する事が可能です。

ナノセブン導入の7つのメリット

特長1 計測時間短縮

100µm×100µmエリアの表面粗さをわずか25秒で計測します。※3µmピッチで計測の場合。

 AFMでは一般的に15分程度必要です。

特長2 広範囲計測

ナノセブンの計測範囲は、サンプルステージの可動領域に依存します。X軸(横軸)45mm、Y軸(奥行軸)45mmまで可動できるため、この領域内であれば理論的には一度に計測することが可能です。またサンプルステージの大型改造を実施することができ、より広い範囲の計測も可能です。

特集3 防振台不要

ナノセブンの採用している「光ヘテロダイン干渉計測式は、一般的な白色干渉計測と異なり、干渉縞による計測を使用していないため、外乱からのノイズに強く、防振台を必要としません。

特長4 簡単計測

原則として、計測対象物への特別な前処理は必要ありません。また真空設備も使用していません。専用のオペレーターがいなくても操作可能な簡単操作設計となっています。

特長5 高分解能

ナノセブンは光ヘテロダイン干渉計測方式を採用しており、光の波長の位相差を基準とした計測方法であるため、高さ分解能は0.1nm(ナノメートル)以下の計測が可能です。

特長6 非接触式計測

ナノセブンは赤色レーザーによる非接触型の計測器ですので、計測対象物に悪影響を与えません。また非接触であるため接触型の計測器と比較して高速計測が可能です。レーザー出力もわずか数ミリワットの低出力なので省エネルギーかつ安全な設計です。

特長7 低ランニングコスト

設置時に防振台や真空設備などの付帯設備の必要がなく、また消耗品もほとんどないため購入後のランニングコストを抑えることができます。また専用オペレーターも必要ないため人件費削減にも貢献いたします。

【1.ナノセブン<TN-A1>:主な仕様 】

【2.他のナノ計測器との比較 】

【3.光ヘテロダイン干渉計の原理と精度 】

【4.校正について 】

【5.表面粗さ計測事例 】

★計測事例ご紹介

1.ウエハ/各種基板材
2.金属材
3.その他計測例

【6.参考資料 】

1.ナノセブン<TN-A1>の主な仕様

・計測は本体・コントロールBOX・計測用PCで構成されています。

・卓上設置が可能でコンパクトなサイズになっています。

・X45mm×Y45mmのワイドレンジで計測が可能です。
仕様 一覧
高さ方向分解能0.1nm(ナノメートル)
基準高さ測定範囲0.5nm~300nm
計測方式非接触方式
最大移動量 【※1】X:45mm / Y:45mm
光源He-Ne レーザー(632.8nm)
対物レンズ倍率 20X / NA 0.4
電源AC100V
本体重量約 27kg
付属品ノイズフィルター
外形寸法本体:                           W220×D550×H420mm
コントロールボックス:W172×D350×H315mm

※本仕様は改良のため、予告なく変更する場合がございますので、ご了承下さい。

2.他のナノ計測器との比較

ナノセブンは、他の計測装置と比較して広範囲かつナノレベルの高さの計測が可能です。

3.光ヘテロダイン干渉計の原理と精度

◇通常の光干渉計測では、その原理にホモダイン干渉が用いられています。
◇同一周波数光の静止した干渉縞の強度を画像解析し計測されます。

◇ナノセブンでは、光ヘテロダイン干渉をその原理とし光学構成されています。 2ビーム間の位相差から得られる電気信号を解析し計測されます。

◇光ヘテロダイン干渉法で形成した2つのレーザ光を計測対象へ照射する事で光の位相が発生します。

◇この光の位相差を電気的に検出する事で光波長を高さの基準とし図のような測定精度を得て保証しています。

4.校正について

『 段差標準ゲージ VLSI社/USA 』
・ナノセブンの校正には、米国VLSIスタンダード社の4種類の薄膜標準高さゲージを使用しています。この製品は米国の国立標準技術研究所の定める基準に基づいて製作されており、世界中の段差計測の基準として使用されています。
・以下の計測データでは、ゲージ中央部の基準段差(実測値20.2nm)を2Dで計測しています。

6.参考資料

米国VLSIスタンダード社製「薄膜段差標準ゲージ」

ナノセブン<TN-A1>☆nanotech 2017 新人賞受賞☆

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