※ 平面度の説明
・光学部品の表面が理想的な平面からどれだけずれているかを示す指標です。
測定には干渉計を使い、光源の波長を基準に表記します。
・”波長”は、測定に使うレーザ光の波長(ここではHe-Neレーザの632.8nm)です。
・1波長 = 632.8 nm
・5波長 = 3164 nm ≃ 3.16 μm
・”φ10mm”は、測定対象となる有効範囲の直径を示しています。
ミラーの表面のうち直径10mmの円内でこの平面度を保証します。
・例えば、「5波長(632.8nm)/φ10mm」は、直径10mmの範囲で、表面の高低差が約3.16μm以内であることを保証する、という意味です。
・厚みが増すほど、平面度のレベルが上がります。