多軸ステージ 一覧

XYθ軸ステージ
【φ40mm・φ60mm】
3軸ステージ

XYZθ軸ステージ
【φ40mm・φ60mm】
4軸ステージ

XYZθα軸ステージ
【□40・□60mm】
5軸ステージ

XYZθαβ軸ステージ
【□40・□60mm】
6軸ステージ

XYθ軸ステージ【3軸型:φ40mm・φ60mm】

■XYθ軸ステージは、3軸方向の微動調整が可能なステージです。
■XY軸での位置決めと、θ軸回転での360°方向の微動調整が可能です。

品番テーブルサイズ操作方向耐荷重【kgf】価格
TSC3-40φ40mmXYθ軸(3)2(19.6N)¥69,000
TSC3-60φ60mmXYθ軸(3)5(49N)¥81,000

XYZθ軸ステージ【4軸型:φ40mm・φ60mm】

■XYZθ軸ステージは、4軸方向の微動調整が可能なステージです。
■XYZ軸での位置決めと、θ軸回転での360°方向の微動調整が可能です。Z軸方向は焦点合わせに有効です。

品番テーブルサイズ操作方向耐荷重【kgf】価格
TSC4-40φ40mmXYZθ軸(4)2(19.6N)¥106,000
TSC4-60φ60mmXYzθ軸(4)5(49N)¥121,000

XYZθα軸ステージ【5軸型:■40・■60mm】

■XYZθα軸ステージは、5軸方向の微動調整が可能なステージです。
■XYZ軸での位置決めと、θ軸回転での360°方向とα軸角度による姿勢調整などの微動調整が可能です。

品番テーブルサイズ操作方向耐荷重【kgf】価格
TSC5-4040×40mmXYZθα軸(5)2(19.6N)¥146,000
TSC5-6060×60mmXYzθα軸(5)5(49N)¥173,000

XYZθαβ軸ステージ【6軸型:■40・■60mm】

■XYZθαβ軸ステージは、6軸方向の微動調整が可能なステージです。
■XYZ軸での位置決めと、θ軸回転での360°方向とαβ軸角度による姿勢調整などの微動調整が可能です。回転中心が一致したαβ軸は微細な傾斜姿勢の制御が可能です。

品番テーブルサイズ操作方向耐荷重【kgf】価格
TSC6-4040×40mmXYZθαβ軸(6)2(19.6N)¥184,000
TSC6-6060×60mmXYzθαβ軸(6)5(49N)¥223,000
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